NTSC规格比超过100％ 索尼展出9.9英寸柔性有机EL面板

　　索尼开发出9.9英寸的柔性有机EL面板，这是一款像素为960×540的产品，像素间距为228μm，清晰度为111ppi，厚度为110μm。

　　驱动元件采用氧化物半导体非晶IGZO TFT。通过组合使用白色有机EL材料与RGBW4色彩色滤光片（CF）实现彩色显示。有机EL元件的构造采用从与TFT基板相反一侧提取光的顶部发光型。色彩表现范围NTSC规格比高达100％以上。

　　此次的开发品使用两张在玻璃上贴有薄膜的基板制作而成。在一张基板上形成TFT和有机EL元件，另一张基板上形成彩色滤光片。将这两张基板粘结后剥离玻璃，从而制成柔性面板。TFT、有机EL元件与彩色滤光片可采用与普通玻璃基板相同的制作工序，因此“在量产柔性有机EL面板时，这是一个比较实际的选择”（索尼）。

　　非晶IGZO TFT采用普通的真空成膜与光刻技术制成。IGZO层通过溅射成膜，栅极绝缘膜（SiOx）通过PECVD成膜，TFT构造为底栅型，为提高可靠性在半导体层上部设置了蚀刻阻挡层。载流子迁移率为13.4cm2/Vs，亚阈值摆幅（Subthreshold Swing）为0.2V/dec.，“与在玻璃基板上直接形成时基本相同”（索尼）。据索尼介绍，在将玻璃剥落前后，TFT特性没有变化。

　　白色有机EL元件通过蒸镀低分子材料形成。采用顶部发光构造是“为了利用在有机EL电视、显示屏和头戴式显示器用面板中积累起来的技术和经验”（索尼）。彩色滤光片采用普通的光刻技术制作，工艺温度在100℃以下。