国产MOCVD期待投入使用“零的突破”

国产MOCVD期待投入使用“零的突破”

工业和信息化部发布的《高端装备制造业“十二五”发展规划》提出，到2015年，高端装备制造业销售收入超过6万亿元，在装备制造业中的占比提高到15%;到2020年，高端装备制造产业销售收入在装备制造业中的占比提高到25%。科技部发布的《半导体照明产业“十二五”规划》中也提出，到2015 年，大型MOCVD装备、关键原材料将实现国产化。

MOCVD全名叫有机金属化学气相沉积设备，是LED外延芯片制造的关键核心设备。这一设备长期以来被欧美两大公司(德国AIXTRON和美国VEECO)垄断。MOCVD设备是中国半导体照明产业发展的瓶颈，也是业界“心中的痛”。LED产业主要依赖于MOCVD设备，它与半导体产业极其相似，都是设备领先，国内把攻克MOCVD设备当成LED产业“十二五”规划中的重中之重。

有资料显示，截至2011年年底，国内有近20家企业在研发MOCVD设备，并且部分企业已经有了一定进展。今年4月南昌黄绿照明公司依托南昌大学、国家硅基LED工程技术研究中心，经过多年的努力，成功推出自主知识产权的生产型GaN基MOCVD设备。这可以说是真正意义上的中国自主研发制造的可以应用于大生产线的生产型设备。国产设备有优势，但在推广中也存在不少问题。如何使国产高端装备实现在线使用“零的突破”，需要研制者(设备供应商)、用户(外延芯片制造企业)、政府相关主管部门的大力支持与通力合作。

国产设备具有成本优势毋庸置疑，但国产设备更应该做到的是通过过硬的质量、优良的技术、卓越的技术支持和客户服务，以及全套的工艺解决方案赢得用户、赢得市场。从目前有关MOCVD设备公司公布的情况看，国产设备无论是技术上还是价格上，优势已经显现，目前面临的最大问题是设备的推广。

首先，市场环境差，国产MOCVD设备“生不逢时”。前两年LED产业投资过热，企业进行大规模投资，目前包括三安、德豪润达在内的大公司，其设备开工利用率不足30%。消化目前的产能需要2～3年的时间，因此，未来3年，国产新设备的推广前景不容乐观。其次，设备关键零配件采购成本高。由于我国基础工业落后，部分关键零配件及大量机加工精密零配件需要进口，大大增加了国产设备的拥有成本。最后，国人的自轻心理，不相信国产设备的品质，也阻碍了国产设备的推广。

因此，加快推广国产设备，为国产设备的在线应用营造良好的政策环境、生态环境成为当务之急。针对目前市场环境，可以选择有技术实力的LED芯片企业进行财政补贴，鼓励其使用、试用国产设备。在关税方面，对需要进口的关键零配件及材料减免进口关税，降低国产设备的制造和拥有成本，切实做到支持国产高端装备的发展。此外，还要克服盲目崇洋心理，MOCVD等高端设备水平的提升，依赖于芯片企业对国产设备的信任。好在现在越来越多的企业已经意识到，依靠购买成熟工艺设备永远比别人落后一到两代，只有自己站上“金字塔”顶，才能成为超越者和引领者。

一代设备一代工艺一代产品，国外公司用设备一代一代地牵着我们高科技产业的鼻子走，这是欧美等发达国家惯用的策略和伎俩。LED照明产业现在还是新兴产业，预计这一产业在未来5～8年将成为成熟产业，现在发展高端装备为时不晚。官产学研用通力合作，国产MOCVD设备一定能够实现在线使用“零的突破”，也一定能够消除中国LED照明产业“心中的痛”。工欲善其事，必先利其器，只有掌握了关键制造工艺和设备，才能让LED照明产业链根植于中国。