北京七星电子12英寸集成电路立式氧化炉实现产业化
来源:华强电子网 作者:------ 时间:2015-05-19 16:52
2015年1月,北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)与上海华力微电子有限公司签订2台12英寸立式氧化炉供销合同,用于其55 纳米集成电路生产线。这标志着七星电子的氧化炉产品继在中芯国际验证成功后,又一次在国内高端集成电路生产领域取得突破,开始走向商用化。
七星电子具有50余年的半导体装备研制生产历史,是我国集成电路工艺设备骨干研制生产企业。近年来,在国家科技重大专项支持下,七星电子承担了 12英寸立式氧化炉的研制任务。通过企业持续创新与投入,以及和用户的紧密合作,七星电子研发团队成功研制出完全自主知识产权的12英寸立式氧化炉产品,通过了中芯国际90纳米、65纳米、45纳米、28纳米生产线的工艺验证。设备的关键工艺指标、可靠性、安全性均达到国际同等设备技术水平,并实现产品系列化。
未来,七星电子将瞄准集成电路产业技术发展方向,通过持续投入,不断提高自身技术研发能力和立式炉产品的技术水平,增强国际市场竞争力。同时,通过12英寸LPCVD,单片清洗机等产品的研制,扩大集成电路装备产品线,努力把企业打造成国内高端集成电路设备的龙头企业,为中国集成电路产业的发展贡献力量。
关注电子行业精彩资讯,关注华强资讯官方微信,精华内容抢鲜读,还有机会获赠全年杂志
关注方法:添加好友→搜索“华强微电子”→关注
或微信“扫一扫”二维码
- •【ICDIA参会指南】首个IC应用展,Show出中国芯力量!2024-09-24
- •2024中国(深圳)集成电路峰会成功举办2024-08-23
- •群“芯”云集,“圳”等你来!2024中国(深圳)集成电路峰会报名盛大开启2024-07-24
- •2024中国(深圳)集成电路峰会将于8月16日盛大开启2024-07-17
- •工信部:2023年我国集成电路产量3514亿块,同比增长6.9%2024-02-18
- •华虹集成电路制造无锡项目获新进展2023-12-25
- •广东半导体及集成电路产业投资基金二期成立2023-12-21
- •第102届中国电子展开幕在即,众多集成电路优质企业闪亮登场2023-11-10
- •2023年中国集成电路设计业呈现哪些变化?未来走向如何?权威报告即将在ICCAD上隆重发布2023-10-09
- •第102届中国电子展—众多集成电路优质企业“大放异彩”2023-09-20