Reno Sub-Systems推出用于半导体等离子应用的业界最高功率微波产生器

Reno Sub-Systems推出用于半导体等离子应用的业界最高功率微波产生器

　　业界领先的高性能射频(RF)匹配网络，射频发电机和半导体製造气体流量管理系统的生产商Reno Sub-Systems 在SEMICON West公佈了其Precis固态发电机系列的最新产品。新的Precis固态发电机能够以2.45GHz输出1.6kW功率的微波，这是致力于半导体等离子应用的最高功率固态微波产生器。该公司的发电机满足了半导体业对先进子系统技术日益增长的需求，以协助行业保持摩尔定律的步伐。

　　“几十年来，子系统首次实现了新的製程和未来的元件世代。 ” Reno Sub-Systems 的首席执行官Bob MacKnight表示，“我们技术得到业界广泛认可，80%的顶级半导体元件製造商和设备製造商已经订购了Reno的产品。”

　　Precis微波发电机使用高度可靠的固态架构以提供精确，可重复和稳定的微秒斜坡时间。与相对应的磁控管技术的微波发电机相比，Precis的微波功率控制可以提供显着提升的频率控制。消除老化的磁控管技术也降低了维护要求，从而降低了所有权成本。

　　Precis系列发电机是Reno 公司卓越的Velocity系列EVC匹配网络产品组合的最新产品。 Velocity EVC匹配网络具有超群的性能和处理能力，实现範围从500W至4.5kW，频率为500kHZ至40MHz。

　　Precis 微波发电机规格:

　　? 频率 2.45GHz 的 1.6kW 微波输出

　　? 运行採用200/208, 叁相, 50/60Hz 交流电

　　? 同轴和波导输出选项

　　? 串行和模拟通信

　　? 提供DeviceNet和EtherCAT通讯选项

　　? 19英寸机架安装设计，易于集成

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