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Reno Sub-Systems推出用于半导体等离子应用的业界最高功率微波产生器

业界领先的高性能射频(RF)匹配网络，射频发电机和半导体製造气体流量管理系统的生产商RenoSub-Systems在SEMICONWest公佈了其Precis固态发电机系列的最新产品。新的Precis固态发电机能够以2.45GHz输出1.6kW

半导体等离子微波产生器

2017-07-25 09:55