上海汉虹12英寸半导体单晶炉批量投入产线使用
据上海汉虹精密机械有限公司官网消息,该公司12英寸半导体单晶炉(FT-CZ3212B)开始批量投入产线使用。该设备可稳定量产高品质大直径晶棒,也标志着12英寸硅片大规模、产业化布局取得了关键成效。
相较于8英寸国产硅片的量产进度,12英寸国产硅片远未进入产能释放阶段,与庞大的需求相比供应量远远不足。初步估计,到2020年我国大陆芯片制造能力有望达到全球的30%,届时我国大陆12英寸硅片产能与芯片代工产能严重失配。除了供需缺口之外,我国12英寸硅片产品的质量也急待提升。
官网显示,上海汉虹全自动12英寸半导体单晶炉在均匀和缺陷密度等方面达到了新的高度,突破了国内晶体硅材料生长设备、特别是大直径晶体硅材料生长设备长期被国外大型企业垄断的产业格局。
上海汉虹精密机械有限公司是Ferrotec集团的全资子公司,成立于2005年,是一家以研发、生产和销售精密机械装备为主的公司,Ferrotec集团即日本磁性技术控股公司,服务于国际知名的半导体/LED、光纤通信、电力电子、工业洗涤、新能源汽车/高铁、家电/医疗等诸多行业领域客户,目前在中国境内拥有旗下21家公司和制造基地。
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