中国实现离子注入机全谱系产品国产化 助力芯片制造

3月18日消息，记者从中国电子科技集团有限公司(中国电科)获悉，该集团旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

中国电科介绍说，离子注入机是芯片制造中的关键装备。电科装备连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”关键技术，自主研制出中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28纳米，已累计形成核心发明专利413项，实现中国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展，将有效缓解中国芯片制造领域断链、短链难题。

中国电科表示，下一步，电科装备将瞄准高端，紧跟先进工艺发展，加快推进适用于更先进工艺节点离子注入机的研发及产业化。

据了解，中国电科是中国军工电子主力军、网信事业“国家队”、国家战略科技力量，拥有电子信息领域相对完备的科技创新体系。目前，中国电科旗下包括47家国家级研究院所、11家上市公司在内的企事业单位500余家，员工20余万名，并拥有35个国家级重点实验室、研究中心和创新中心。