芯片“血液”制造国产化进程加速

“我们二期项目生产的6种产品均为半导体生产过程中的电子材料。项目建成后，能够推动关键电子材料国产化进程，解决半导体材料‘卡脖子’难题！”内蒙古兴洋科技有限公司副总经理杨华志告诉记者。

眼下正值项目建设黄金期，在鄂尔多斯市准格尔经济开发区准格尔产业园，内蒙古兴洋科技有限公司年产1200吨芯片电子级高新硅基材料二期项目正在进行基础设施建设，预计今年年底建成投产。

作为从事电子级硅烷、多晶硅材料研发、制造、销售的现代科技型企业，2018年8月，该公司一期项目——年主产3000吨电子级新材料硅烷项目正式投产，2021年产值达1.46亿元。自投产以来，公司累计投入1500多万元，成功研发出了6种芯片用电子级高新硅基材料。二期生产的高新硅基材料正是一期硅烷项目的中间产品和终端产品的再利用和综合利用。

电子级高新硅基材料是信息产业和芯片产业的重要基础原材料。从芯片生产到最后器件的封装，几乎每一个环节都离不开电子气体，因此这种电子气体也被称为芯片制造的“血液”。电子级硅烷主要应用于各种微电子薄膜制备，包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等，几乎所有先进的集成电路的生产线都需要用到硅烷。

目前，国内含硅电子气体（含硅前驱体）大部分被国外垄断，基本都需要依赖进口。产品技术壁垒高，生产难度大，材料进口价格高昂。“芯片‘血液’制造国产化进程正在加速，我们公司二期项目的6种产品中，其中3种——六氯乙硅烷、乙硅烷，三甲硅烷基胺都属于‘卡脖子’产品。项目投产后，将填补我国同类产品生产短板，进一步打破其他国家在中国芯片电子特气领域的长期垄断，对加快我国发展集成电路、平面显示器、光伏产业及航天、军工产业具有重要意义。”内蒙古兴洋科技有限公司执行董事林富斌充满信心地说。