半导体行业开启“材料时代”，先进材料和清洗方案比光刻机更重要

半导体行业开启“材料时代”，先进材料和清洗方案比光刻机更重要

行业专家表示，半导体行业在过去20多年时间里，光刻领域的进步，主要由特殊设备决定的；而在未来10年里，将过渡到“材料时代”。

美国耗材供应商Entegris首席技术官James O'Neill表示，当前半导体行业掌控“更精细”工艺技术的角色，已经从光刻设备迁移到用于硅晶圆加工的先进材料和清洗解决方案上。

O'Neill表示材料领域的创新，是推动半导体元件生产率提高的关键。

默克集团电子业务总经理凯?贝克曼同样支持上述观点，表示未来10年会是“材料时代”。

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