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早些年间，由于CMOS工艺与MEMS工艺之间存在很大的差异，导致两种技术集成在一起是很困难的事情，但是随着技术的发展，CMOS工艺与MEMS工艺无缝集成的难度系数正在逐渐降低。不过，整体而言，当前市场上能看到CMOS工艺与MEMS工艺集成的产品
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