一、初露锋芒的硅光子技术由于光和电采用分立方式，光子与电子技术遵循各自的发展路线，目前光通信系统在功耗、成本、集成度方面遇到提升瓶颈。硅光子技术利用CMOS微电子工艺实现光子器件的集成制备，该技术结合了CMOS技术的超大规模逻辑、超高精度制造的