中微半导体设备(上海)有限公司(以下简称“中微”)在本周举办的SEMICONChina期间正式发布了第一代电感耦合等离子体刻蚀设备Primonanova，用于大批量生产存储芯片和逻辑芯片的前道工序。该设备采用了中微具有自主知识产权的电感耦合等离