厚度减半!新型印刷电路板亮相日本
来源:日经BP社 作者: 时间:2003-07-07 19:02
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| 图1:NMSS的生产设备 |
卷状膜为3层结构,依次是铜、镍、铜,由东洋钢板和日本电解公司提供。由于两公司的膜的厚度不同,因此用户可根据需要选择使用。东洋钢板是通过辊子,利用压延法把3层膜压成单层膜而形成厚膜,日本电解则是利用电镀法形成各膜层,因此为薄膜。
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| 图2:NMSS的截面 |
在工序(1)中,蚀刻铜箔形成铜电极。由于下层的镍层不进行蚀刻,因此铜电极的高度整齐。之后,再把这些电极作为掩膜蚀刻出镍布线。工序(2)中的绝缘膜,是通过在形成突起电极的面上,喷涂液体状聚酰亚胺并使之干燥而形成的。此时由于聚酰亚胺绝缘膜覆盖了突起电极,因此在工序(3)中要通过蚀刻露出突起电极的上部。工序(4)中用于形成布线的过程,能够沿用现有的印刷电路板生产设备。
(编辑 Kitty)
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