国产半导体设备配套路还很长
(华强电子世界网讯) 在集成电路制造的产业链条中，上游的设备制造业和支撑材料业直接影响整个半导体产业的发展。面对我国集成电路制造业飞速发展的态势，支撑业尤其是半导体设备业如何抓住机遇，实现突破，是目前整个业界急需破解的课题。
经过多年的发展，国产半导体设备行业已经取得了很不错的成绩：在半导体前道工序用扩散炉、快速热处理设备、清洗机、匀胶显影设备等；后道工序中的划片机、塑封机、部分模具等；材料制备设备中的单晶炉、研磨机、抛光机；部分净化设备和试验设备中，国产设备已经日渐成熟。部分材料制备设备(6英寸单晶炉、研磨机、抛光机)、后道工序设备(6英寸划片机、塑封机、自动封装系统、模具)，以及6英寸前道工序中的扩散设备、快速热处理设备、清洗设备等已逐步进入集成电路生产领域。8英寸相关设备也正在加紧研制。
尽管如此，相对于芯片制造业，我国的半导体设备制造业无论从生产规模、研发水平、投资强度以及人才聚集等都相形见绌，新建的8英寸集成电路制造厂的生产设备几乎都是从国外引进的。
北京七星华创电子股份有限公司总经理叶枫发表的看法有一定的代表性，他指出，目前，国家对国内8英寸以上集成电路制造业所用的设备实行零关税和免增值税，而国内设备制造业企业不享受此待遇，所进口的零部件要交全额关税和增值税。我国基础工业比较薄弱，集成电路设备又是技术含量很高的产品，所需元器件要大量从国外进口，故而造成了关税倒挂，使国内企业在高端设备制造成本的优势尽失。此外，由于国外大量二手设备的进入，使得国内半导体生产企业失去了在8英寸生产线一显身手的机会。而且，国内企业在设备方面可怜的投入也阻碍了我国半导体设备业的前行。集成电路设备产业是高投入高产出的技术密集型产业，国外的企业在研发投入方面非常大，一个公司的研发费用可达几亿甚至十几亿美元，而且建有自己的工艺实验室，这是国内企业望尘莫及的。
既然进入主流的集成电路大生产线有一定难度，国内半导体厂商就该考虑在其他的市场开出一片天地。据中国电子专用设备工业协会秘书长金存忠介绍，2004年我国半导体设备在太阳能电池和半导体分立器件市场需求的推动下，成为行业内销售额增长最快的一类产品，达到3.9亿元，与2003年相比增长了67%。今年上半年，同样是由于太阳能电池市场的驱动，我国半导体设备销售额达到2.8亿元，同比增长了86.3%。
太阳能电池作为可再生的环保能源已经越来越受到人们的关注，世界太阳能电池近几年的年销售增长率已超过40%，我国2004年太阳能电池生产能力比2003年增长了93.8%，与其相关的设备也得到了迅猛的发展。目前，在国家倡导节能的宏观政策的推动下，北京、上海、广东、江苏等都在积极开发太阳能电池产品，这为国产半导体设备带来了广阔市场：仅用于生产太阳能电池硅单晶的单晶炉，预计2005年销售额就将超过2亿元，将比2004年增长60%以上。
金存忠告诉记者，由于生产太阳能电池用的单晶炉产品技术含量不是很高，国产的单晶炉完全能够满足太阳能电池片的工艺技术要求。因此，国内半导体设备厂商应该看准这个市场，把握市场脉搏，使之成为企业新的经济增长点。
集成电路这种高新技术的发展离不开设备的发展，而且设备本身也已成为高新技术的一部分，又涉及到集成电路生产线投资的问题，因此凡发展集成电路的国家和地区必然要发展设备。
在采访过程中，很多业内人士都提出，国家应该在政策、资金、关税等方面对国产半导体设备行业有所倾斜：系统研究振兴我国半导体和集成电路专用装备制造业的有关政策；鼓励国内装备制造企业、专用装备用户企业和资金进入半导体和集成电路专用装备制造业。
为此，业内权威人士给出建议，我国半导体集成电路设备企业应该分步走：2010年前，我国主流生产线部分关键设备实现商品化；通过对外合作，将少量具有优势的产品实现产业化；积极发展FPD、MEMS、电池生产设备及其他电子基础产品生产线所用半导体设备。
作为国内从事半导体设备研究生产主导企业的掌门人，叶枫对如何振兴国内半导体设备业的看法更实际一些，他说，要想振兴国内半导体设备业，首先要建立以企业为主体，以产业化为目标，设备制造和工艺研究的联合体，充分发挥研究单位在工业研发方面的经验和设备制造企业在设备设计方面的优势是首要任务。其次，在税收方面至少享有与国外设备企业同等的待遇：如果进口设备免关税，那么国产设备生产所用零部件进口也应实行零关税，在发展初期进行研发资金资助，享受税收的更优惠政策或者享受软件企业的优惠政策。第三，对部分有希望国产化的设备，如扩散炉、部分清洗设备等，在政策上鼓励用户选用。
除了上述几方面外，叶枫还建议，应把技术研发和产业化发展研究分开。在进行高端技术研究的同时，鼓励部分有基础、有希望替代国外设备的产品首先产业化。不经过这一阶段，即使在技术上接近国外水平，没有基础支撑，没有配套政策，研发的技术也无法实现产业化，难以持久发展。
金存忠则强调，国内半导体设备厂商不应只停留在低水平设备的生产上，一方面，由于市场需要而进行8英寸旧设备的翻新；另一方面，要通过8英寸设备的研究，尽快进入12英寸设备的研制，因为8英寸的设备毕竟是过渡产品。
产业发展面临难关
经过多年的发展，国产半导体设备行业已经取得了很不错的成绩：在半导体前道工序用扩散炉、快速热处理设备、清洗机、匀胶显影设备等；后道工序中的划片机、塑封机、部分模具等；材料制备设备中的单晶炉、研磨机、抛光机；部分净化设备和试验设备中，国产设备已经日渐成熟。部分材料制备设备(6英寸单晶炉、研磨机、抛光机)、后道工序设备(6英寸划片机、塑封机、自动封装系统、模具)，以及6英寸前道工序中的扩散设备、快速热处理设备、清洗设备等已逐步进入集成电路生产领域。8英寸相关设备也正在加紧研制。
尽管如此，相对于芯片制造业，我国的半导体设备制造业无论从生产规模、研发水平、投资强度以及人才聚集等都相形见绌，新建的8英寸集成电路制造厂的生产设备几乎都是从国外引进的。
北京七星华创电子股份有限公司总经理叶枫发表的看法有一定的代表性，他指出，目前，国家对国内8英寸以上集成电路制造业所用的设备实行零关税和免增值税，而国内设备制造业企业不享受此待遇，所进口的零部件要交全额关税和增值税。我国基础工业比较薄弱，集成电路设备又是技术含量很高的产品，所需元器件要大量从国外进口，故而造成了关税倒挂，使国内企业在高端设备制造成本的优势尽失。此外，由于国外大量二手设备的进入，使得国内半导体生产企业失去了在8英寸生产线一显身手的机会。而且，国内企业在设备方面可怜的投入也阻碍了我国半导体设备业的前行。集成电路设备产业是高投入高产出的技术密集型产业，国外的企业在研发投入方面非常大，一个公司的研发费用可达几亿甚至十几亿美元，而且建有自己的工艺实验室，这是国内企业望尘莫及的。
积极开拓新市场
既然进入主流的集成电路大生产线有一定难度，国内半导体厂商就该考虑在其他的市场开出一片天地。据中国电子专用设备工业协会秘书长金存忠介绍，2004年我国半导体设备在太阳能电池和半导体分立器件市场需求的推动下，成为行业内销售额增长最快的一类产品，达到3.9亿元，与2003年相比增长了67%。今年上半年，同样是由于太阳能电池市场的驱动，我国半导体设备销售额达到2.8亿元，同比增长了86.3%。
太阳能电池作为可再生的环保能源已经越来越受到人们的关注，世界太阳能电池近几年的年销售增长率已超过40%，我国2004年太阳能电池生产能力比2003年增长了93.8%，与其相关的设备也得到了迅猛的发展。目前，在国家倡导节能的宏观政策的推动下，北京、上海、广东、江苏等都在积极开发太阳能电池产品，这为国产半导体设备带来了广阔市场：仅用于生产太阳能电池硅单晶的单晶炉，预计2005年销售额就将超过2亿元，将比2004年增长60%以上。
金存忠告诉记者，由于生产太阳能电池用的单晶炉产品技术含量不是很高，国产的单晶炉完全能够满足太阳能电池片的工艺技术要求。因此，国内半导体设备厂商应该看准这个市场，把握市场脉搏，使之成为企业新的经济增长点。
政策资金关税三管齐下
集成电路这种高新技术的发展离不开设备的发展，而且设备本身也已成为高新技术的一部分，又涉及到集成电路生产线投资的问题，因此凡发展集成电路的国家和地区必然要发展设备。
在采访过程中，很多业内人士都提出，国家应该在政策、资金、关税等方面对国产半导体设备行业有所倾斜：系统研究振兴我国半导体和集成电路专用装备制造业的有关政策；鼓励国内装备制造企业、专用装备用户企业和资金进入半导体和集成电路专用装备制造业。
为此，业内权威人士给出建议，我国半导体集成电路设备企业应该分步走：2010年前，我国主流生产线部分关键设备实现商品化；通过对外合作，将少量具有优势的产品实现产业化；积极发展FPD、MEMS、电池生产设备及其他电子基础产品生产线所用半导体设备。
作为国内从事半导体设备研究生产主导企业的掌门人，叶枫对如何振兴国内半导体设备业的看法更实际一些，他说，要想振兴国内半导体设备业，首先要建立以企业为主体，以产业化为目标，设备制造和工艺研究的联合体，充分发挥研究单位在工业研发方面的经验和设备制造企业在设备设计方面的优势是首要任务。其次，在税收方面至少享有与国外设备企业同等的待遇：如果进口设备免关税，那么国产设备生产所用零部件进口也应实行零关税，在发展初期进行研发资金资助，享受税收的更优惠政策或者享受软件企业的优惠政策。第三，对部分有希望国产化的设备，如扩散炉、部分清洗设备等，在政策上鼓励用户选用。
除了上述几方面外，叶枫还建议，应把技术研发和产业化发展研究分开。在进行高端技术研究的同时，鼓励部分有基础、有希望替代国外设备的产品首先产业化。不经过这一阶段，即使在技术上接近国外水平，没有基础支撑，没有配套政策，研发的技术也无法实现产业化，难以持久发展。
金存忠则强调，国内半导体设备厂商不应只停留在低水平设备的生产上，一方面，由于市场需要而进行8英寸旧设备的翻新；另一方面，要通过8英寸设备的研究，尽快进入12英寸设备的研制，因为8英寸的设备毕竟是过渡产品。
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(编辑 甘心)