FSI接获砷化镓组件制造商POLARIS微影系统追加订单

FSI接获砷化镓组件制造商POLARIS微影系统追加订单

     全球微电子制造的表面处理与清洗设备供货商FSI International公司日前宣布接获一家主要砷化镓(GaAs)组件制造厂商追加POLARIS Microlithography System微影系统的订单，显示POLARIS系统杰出的效能表现与弹性能力，再加上15年敏感GaAs基板的处理经验，使得砷化镓厂商对此一系统展现日益浓厚的兴趣。
    
    　　随着FSI强化在此主要市场的持续扩展，来自无线宽带与有线通讯组件供货商的订单也可望随之增加。「我们深刻感受快速成长的无线宽带与有线通讯零组件制造厂对POLARIS系统的兴趣正日益增强。」FSI主席暨执行长Don Mitchell表示，「POLARIS系统所具备的弹性能力可让客户不须更改硬件与软件，即可在同一系统上处理不同尺寸的砷化镓与氮化镓基板。此一同步处理不同晶圆尺寸的能力可在不牺牲制程效能的同时提供更高等级的弹性能力。」
    
    　　FSI POLARIS 微影系统可为100mm到300mm不同尺寸的晶圆提供黏着、光阻涂布、烘烤、冷却及显影制程。拥有庞大装机数量的POLARIS系统已被使用于包括：薄膜磁头、生医科技以及砷化镓等各种应用与产业。同时，F
    
    　　SI的支持服务计划提供产品与制程强化方案，可协助先前建置的FSI设备延展系统使用周期，进而协助全球客户实现更高的资本设备投资报酬率。