国产MOCVD设备仍处于技术跟踪阶段

编辑导读：MOCVD是LED外延工艺乃至整个LED产业链的关键设备。全球仅Aixtron、Veeco和Taiyo Nippon三家公司能够商业化量产,市占率分别为70%、23%和7%,且Taiyo Nippon仅对日本用户供货。供应商的高度集中导致其供应成为整条LED产业链的瓶颈。另外,供应稀缺也导致MOCVD价格高昂,目前MOCVD,在生产线总投资中的占比高达16%以上。MOCVD国产化对于LED产业的成本降低和产能扩张均有重大作用,是行业的迫切需求。

    中国科学院院士、中科院半导体所研究员王占国认为，从长远来讲，设备国产化的意义非常巨大。不论是氮化镓LED、多晶硅材料生产和太阳能光伏电池制造，还是微电子技术水平的提高都离不开关键设备的自主创新。没有关键设备的突破，自主创新就没有根基，只能跟在别人后边走。只有将自己的特色工艺技术融入自主创新的设备，才能做出一流的产品。任何一个创新性的想法，都需要设备的配合，只有这样，才能做出创新成果。

    中国的高技术企业引进设备的投入往往要占到企业初期投入的70%~80%,如果能用中国自己制造的设备，成本有望逐步降低，产品的性价比可得以提高。当然做好LED设备并不容易，以前全球的MOCVD生产企业众多，可是经过不断的优胜劣汰最后只剩下了Aixtron和Veeco两家。这是经过数十年竞争整合后形成的，它们已经形成丰富的生产经验和市场经验。

    随着LED热潮涌起，现在有越来越多的中国研究机构和企业进入设备开发的领域，细数一下可能不下十家。但要注意的是，一家新进的公司由于没有足够的生产经验，开始时往往只能进行仿制，先不说可能存在的知识产权问题，仅就设备的稳定和市场化这两个关键问题就非常难以解决。因为对于一个大型芯片厂来说，设备的价格只是考虑购买的因素之一，保证生产的稳定性和产品的一致性往往更加重要，开工以后产品的良率、原材料的投入、人力资源的消耗等也都是重点考虑的问题。一家新的企业骤然推出的一个新产品，没有经过足够的时间检验，是很难被市场接受的。

    此外，设备的研发需要较长时间积累，很难在一两年内成功。因此很可能会出现投入巨大资金和精力研发出来，还来不及推向市场，技术已经升级换代的现象。目前，国内研制的MOCVD设备最大产能为6片（48所的GaN-MOCVD）。然而，截至到2007年12月，在国外推出的最新型MOCVD设备中，AIXTRON已推出行星式反应器的42片机（AIX2800G4 HT）和CCS反应器的30片机（CRIUS）。由于产能的差距，小批量的MOCVD设备外延片生产成本较高。我国863计划支持LED设备研制已经有十年时间了，可这一瓶颈仍没有突破，可见其难度之大。因此中国企业在投入设备生产领域时，要非常慎重。

    国产MOCVD设备仍处于技术跟踪阶段，设备产业化水平与生产需要不相适应。自主创新有待加强，套用用股市里面的一句话谚语，那就是“股市有风险，入市需谨慎”,在这里要说的是“国产意义大，投资需谨慎”.