博恩世通采用自产PSS衬底生长外延
来源:中国LED网 作者:--- 时间:2011-11-08 00:00
运用PSS图形化衬底来生长外延片是业内公认的提升亮度最有效最直接的方法,也是大功率高亮度外延片的不二选择。该技术起源于韩国,通过在衬底面上刻蚀出规则排列的圆锥体来实现光在衬底内的多次反射,从而达到芯片外部光的萃取效率的提升。与普通衬底相比,图形化衬底上所生长的外延缺陷会更少,晶体质量更好,亮度可以有30%-50%的提升。上海博恩世通光电股份有限公司从公司设立初始就走的是高起点高标准的路线,公司共计投资2000万设立了多条图形化衬底的生产线,引进了韩国的PSS工艺,月生产产能可以达到15K片。
PSS衬底的核心技术是片内的均匀性和批次间的稳定性,这对曝光和刻蚀技术提出了近乎严苛的要求。我司在进过数月调试后,已经于2011年4月份开始大批量生产PSS衬底。由于国外的优质PSS价格一直居高不下,我司采用自产PSS衬底在一定程度上降低了外延片的成本。更重要的是在同一炉次的外延生长中做衬底性能的对比,用我司自产的PSS衬底所制作的led不管从亮度还是良率上,都与国外大厂的PSS衬底片无异。未来公司将继续增加对PSS衬底生产的投入,规划扩充产能3万片每月。