国产MOCVD重大突破 理想能源MOCVD样机通过验收
来源：高工LED综合报道 作者：--- 时间：2012-05-14 00:00
【高工LED综合报道】 日前，《解放日报》报道称北京市科委2010年度重大科技攻关项目“MOCVD生产性样机研制”通过验收。该项目主要由理想能源设备(上海)有限公司承担。
通过2年攻关，现已成功开发出具有自主知识产权的MOCVD反应腔，在多项关键设备技术和工艺技术上取得重要突破。
该项目标志着LED半导体外延片和芯片的核心生产设备MOCVD已基本实现国产化，打破对进口产品的依赖，有助于我国半导体照明产业快速发展。
通过2年攻关，现已成功开发出具有自主知识产权的MOCVD反应腔，在多项关键设备技术和工艺技术上取得重要突破。
该项目标志着LED半导体外延片和芯片的核心生产设备MOCVD已基本实现国产化，打破对进口产品的依赖，有助于我国半导体照明产业快速发展。
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