研究团队利用原子力显微镜的加热头(heated tip)制作出适合半导体元件或是类MEMS传感器、制动器的铁电结构,包括宽度仅30纳米的线路,以及直径只有10纳米的球体。以铁电存储器为例,该团队估计可利用新开发的工艺达到每平方英寸200GB的容量密度。
这项研究的合作单位还包括美国伊利诺斯州大学(厄本那-香槟分校)以及内布拉斯加大学(University of Nebraska),并获得美国国家科学基金会(National Science Foundation)与美国能源部(US Department of Energy)的赞助。

图左是乔治亚理工学院的博士后研究员Suenne Kim,手上拿着乘载铁电纳米结构的柔性聚合物基板,中间是该团队领导人Nazanin Bassiri-Gharb,以及右方的研究生助理Yaser Bastani(图片由乔治亚理工学院Gary Meek提供)






