MEMS让200mm工艺浴火重生

　　应用材料在中国200毫米业务从2013年1500万美元、2014年的2000万美元到2015年的5000万美元，其中MEMS收入差不多占全球的15%左右。200毫米在亚洲区域的发展更明显，尤其是中国和台湾这部分。现在MEMS是应用材料的一个主要增长点，公司MEMS的收入今年和去年相比差不多有3倍的增长。

　　目前MEMS在300mm线上还是刚起步，但客户他不分200mm还是300mm，有一些产品其实客户也说，究竟用300mm跟200mm实际上不是技术的问题，而是个现实成本考虑的问题。所以，在这方面我们在公司内部要重新考虑，过去200mm好像我们就是有个自己的考量，现在来讲是客户有这个需求的。当然，从设备供应商角度来观察MEMS市场的发展方向，300mm跟200mm的设备实际上是一个市场区间。

　　200mm一般来讲能上到90nm，但0.18到0.13微米工艺应该会更可行一点，不过，200mm在继续保持现有的技术极限同时在应用上面会有一些改变。Michel认为，以现有市场来看，200mm仍然是生产传感器、MCU、包含模拟器件的MEMS产品的主要设备，还将持续保持增长，MEMS市场的爆发将创造更多经济价值，因此，应材也会持续投入200mm设备的研发，迎接MEMS市场中新的挑战。

　　300毫米现在最大的问题就是成本。手机或者电子产品是个很大的市场，像iPhone6有76个device芯片，其中66个200毫米线生产的里面差不多有15-16个MEMS的，所以，200毫米目前还是主流。MEMS这几年发展比较快的因素，在第一波的MEMS发展过程中，像其他的一些传感器这些是主要的工艺。现在很多新的材料包括PSO压电材料，这些部分是我们的强项。Applied的核心技术就是精密材料工程，从整个行业现在都是进入到材料工艺越来越精密的阶段，包括领先的300毫米，包括平板显示这些行业都是使用新的材料工艺。

　　中国出现这么多MEMS公司，说明大家认为MEMS是个市场机会，如物联网、wearable都是个应用方向。在提出2025中国制造的概念之后，我们认为中国的的确有很多潜在机会，因为市场需求在这里。至于用户类型，从工艺的角度来说IDM和Foundry谁也不要小看别人，因为这个市场很大可以容纳IDM和Foundry，如果是传感器领域到了数千亿级别的时候，还是要有比较统一的设计平台。两年前主要涉及IDM，现在是两个都有涉及。

　　市场参与者自己要提升技术形成一个技术平台，而不能只靠价格战。降价现在是中国的一个通病，不过与LED、太阳能对技术要求比较，MEMS的复杂性要高一点，所以真正能够进入MEMS的不会太多。每一家企业都应该有自己的技术平台而不是价格战。以应用为导向的东西是我们的强项，但是你没有一个基本的技术平台是因为水平太低了。

　　主流厂商的技术竞争力是比较大的，而且半导体是一代一代稳步发展，投资去买技术只是一方面。如果从并购的角度来看整个产能并没有扩充，还是在原有的产能，所以这个市场并没有扩大。对应用材料来讲就是集中性用户的问题，如果客户越强我们的压力会越大，现在真正引领市场的的可能7到8家，如果继续合并的话对设备公司可能会有一些压力，好在Applied在半导体领域还是保持领导者的地位。

　　Applied的服务业务已有年20亿美元的营业额，因为你不可能这个厂我今天什么都不做，总是要做的，所以设备会起伏比较大一点，但是服务这部分会比较稳定，而且随着整体市场在逐渐发展，像我们公司3万多台设备，服务是很大的市场，会把原先的市场起伏可以降低一点。服务领域是我们一个很大的收入点，因为你除了卖产品以外如何更有效地使用这些产品，保持这个设备的运转率比较高一点，在这些过程中应用材料在研发service产品帮助我们的客户能够让他们更有效的运转设备。这是一个新的领域，而且我们现在这方面在过去两年里面的进展还是蛮大的。

　　我们现在基本方向是希望从交易的部分转到非交易部分。这样比如说你买车，我有五年的保修，会比较可靠一些。在供应方面。有计划的部分的分配，如果有比较明确的预期，比如说我有一个服务合约，有多少的产能，需要多少部分就比较容易，我没有服务合约，我不知道需求多少部分，就很麻烦。这个服务合约对于我们来讲存货比较容易，计划也比较容易，尤其是Applied Global Service是我们主要的一个新的方向。还有一个就是本土化，我们可以扶植一些本土供应商在中国，这个也是我们做的一个方向。

　　200mm业务最大的一个问题是厂商不生产了，尤其是像电子设备的部分，比如你不可能让摩托摩拉还继续生产他20年前、30年前的控制芯片。我们做200mm主要设备有两类：一个叫做Sandero，一种叫做Condero，这两种设备有8000台。我们新的200mm控制系统有一些PVB的支持设备，可以使原有设备能继续运行10年至20年，在中国到今年四季度差不多有50台设备，这个新的控制系统相当于是在你的一部旧车上换了一台新的发动机。公司针对200mm工艺开发中心在西安，测试及工艺检验都是在西安完成的。

　　与把价格降到更低比，增加价值是更重要。未来三到五年先进工艺还是会继续往前走，但是随着物联网的发展，怎么把40nm和50、90nm工艺用到物联网会有比较多的开发。就像200mm从主流转到power device，进而转到MEMS一样。作为设备投资来讲，肯定还是在紧跟技术发展，但200mm和300mm的旧设备实际上是一个市场领域，200mm对于应用材料来讲是一个长期的计划。

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