至纯科技拟募资投向半导体设备等项目
8月17日，上海至纯洁净系统科技股份有限公司发布非公开发行A股股票预案，拟募集资金不超过（含）18.6亿元，扣除发行费用后将用于投资半导体湿法清洗设备扩产项目、半导体晶圆再生二期项目、光电子材料及器件制造基地建设项目、以及补充流动资金或偿还债务。
据了解，至纯科技的主营业务主要包括高纯工艺系统的设计、制造和安装调试，以及半导体湿法清洗设备研发、生产和销售。
具体而言，半导体湿法清洗设备扩产项目拟由公司子公司江苏启微半导体设备有限公司负责实施，计划在保持公司现有半导体专用设备业务的基础上，对单片式和槽式清洗设备进行扩产和技术升级，以实现能够覆盖更大市场的产品布局，进一步扩大公司产销规模，提升产品品质、优化产品结构，以实现业绩的增长。