晶瑞电材ArF高端光刻胶研发工作已正式启动
近日，晶瑞电材在接受机构调研时表示，公司高端KrF（248）光刻胶已完成中试，建成了中试示范线，已进入客户测试阶段。
目前ArF（193）高端光刻胶研发工作已正式启动，已完成光刻机、匀胶显影机、扫描电镜、台阶仪等设备购置，其中ASML1900Gi型光刻机设备正在积极调试中。同时公司正在积极开展对上游材料树脂单体及配方的研究。
据悉，晶瑞电材近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试，同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。此前，公司已经购得用于负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机，再加之此次购得的KrF光刻机，公司已经到位5台光刻机。
- •瑞萨电子推出全新GaN充电方案， 为广泛的工业及物联网电子设备带来500W强劲功率2026-03-23
- •泰瑞达将亮相SEMICON China 2026，展示先进测试解决方案2026-03-23
- •瑞萨电子推出首款650V双向GaN开关， 标志着功率转换设计规范的重大变革2026-03-23
- •Vishay推出获AEC-Q200认证的超小尺寸厚膜贴片式电阻2026-03-23
- •摩尔斯微电子任命乔·贝德维（Joe Bedewi）为首席财务官2026-03-20
- •ADI启用泰国新工厂，强化全球制造韧性2026-03-20
- •Vishay推出标准厚膜片式电阻，兼具耐硫性能和长期稳定性2026-03-20
- •AI驱动高端MLCC转卖方市场，国产厂商如何各显神通2026-03-20
- •思特威推出全新升级8K&16K高分辨率工业线阵CMOS图像传感器2026-03-19
- •3D打印“狂飙”背后：兆易创新GD32 MCU多元方案驱动性能升级2026-03-19
