晶瑞电材ArF高端光刻胶研发工作已正式启动
近日，晶瑞电材在接受机构调研时表示，公司高端KrF（248）光刻胶已完成中试，建成了中试示范线，已进入客户测试阶段。
目前ArF（193）高端光刻胶研发工作已正式启动，已完成光刻机、匀胶显影机、扫描电镜、台阶仪等设备购置，其中ASML1900Gi型光刻机设备正在积极调试中。同时公司正在积极开展对上游材料树脂单体及配方的研究。
据悉，晶瑞电材近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试，同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。此前，公司已经购得用于负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机，再加之此次购得的KrF光刻机，公司已经到位5台光刻机。