ASML新一代EUV光刻机售价近27亿元
5月21日,据路透社报道,半导体设备巨头ASML正在着手研发价值4亿美元(约合人民币26.75亿元)的新旗舰光刻机,据悉该设备精密度更高、所使用的零部件更多,机型比上一代大出30%,大小如同双层巴士,可用于生产下一代芯片,芯片终端领域可覆盖手机、笔电、汽车、AI等。有望2023年上半年完成原型机,最早2025年投入使用,2026年到2030年主力出货。
ASML对外表示,2021年第四季度已收到5个预定High-NA EUV的订单。
在全球代工领域,台积电、三星是全球唯二的两家在先进工艺制程较量的半导体制造巨头,ASML高端光刻机也是双方今后一比高下的武器。不难判断,台积电、三星是ASML该高端光刻机的首批客户。
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