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MEMS器件作为获取信息和数据的源头，是物联网与智慧家庭中的智能设备不可或缺的基础部分。随着应用领域的多样化，MEMS器件不仅需要从技术上提高精度和稳定性，降低功耗、减小尺寸、延长使用寿命，更需要与各种应用密切结合，例如从智慧娱乐、智慧教育、智
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