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爱发科: 关于两款针对功率器件的离子注入设备开始对外销售的通知
爱发科株式会社(总部位于日本神奈川县茅崎市，董事长兼总经理、岩下节生，以下简称ULVAC)面向功率器件，开发了两款可对应超薄硅片的低速离子注入和高速离子注入设备”SOPHI”(柔化)机型，并正式开始对外销售。背景在汽车、轨道交通、以及家电市场中
爱发科株式会社(总部位于日本神奈川县茅崎市，董事长兼总经理、岩下节生，以下简称ULVAC)面向功率器件，开发了两款可对应超薄硅片的低速离子注入和高速离子注入设备”SOPHI”(柔化)机型，并正式开始对外销售。背景在汽车、轨道交通、以及家电市场中
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