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  • 爱发科: 关于两款针对功率器件的离子注入设备开始对外销售的通知

    爱发科株式会社(总部位于日本神奈川县茅崎市,董事长兼总经理、岩下节生,以下简称ULVAC)面向功率器件,开发了两款可对应超薄硅片的低速离子注入和高速离子注入设备”SOPHI”(柔化)机型,并正式开始对外销售。背景在汽车、轨道交通、以及家电市场中

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    2017-07-10 10:22

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