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离子注入机-标签
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12月27日消息，万业企业公司旗下凯世通的高能离子注入机设备已顺利通过验证并完成验收，这是国产高能离子注入机首次通过晶圆厂验证。集成电路离子注入机主要厂商有应用材料和Axcelis，中国芯片厂使用的离子注入机几乎全部依赖海外。万业企业现完成了国
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据国家国防科技工业局网站报道，日前，中电科电子装备集团有限公司(以下简称电科装备)传来好消息，自主研发的国内首台中束流离子注入机在中芯国际大生产线上稳定流片逾200万，首台200mmCMP设备实现了销售。这是电科装备承担“极大规模集成电路制造装