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  • 近日,浙江生波智能装备有限公司(以下简称“生波智能”)获亿元级A轮融资,由国芯创投领投,派诺资本及产业资方跟投。消息显示,本轮融资将用于半导体先进工艺制程设备的研发、安徽滁州明光“半导体大型真空镀膜设备项目”制造基地建设、扩充企业产能等,并进一