大日本网屏制造建成新设备工厂 450mm纳入视野

来源:日经BP社 作者: 时间:2006-11-21 21:46

    

  大日本网屏制造下属的半导体设备公司2006年4月开始在该公司彦根地区事业所(滋贺县彦根市高宫町)内建设的半导体制造设备工厂--“Fab.FC-2”正式建成,11月17日正式运转。


    

  此次建设的新工厂旨在强化以批量式为首的晶圆清洗设备的生产,是该公司第4家生产半导体制造设备的工厂。加上同样位于彦根地区事业所、2001年建设的“Fab.FC-1”,总生产能力将达到原来的2倍。可向预计未来业绩形势良好的元件厂商长期稳定地供应制造设备。此外,该工厂还拥有可生产未来450mm晶圆制造设备的无尘车间,将新一代半导体的生产设备也纳入了视野。新工厂占地面积约5200m2、建筑面积约9000m2、总建设费用约30亿日元。

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