中芯国际进入Numerical全球客户名单
来源:国际电子商情 作者: 时间:2003-01-24 18:04
(华强电子世界网讯) 亚波长光刻技术供应商Numerical Technologies日前宣布,中国大陆晶圆代工厂商中芯国际的上海工厂将采用其基于模拟的掩膜检验产品。
Numerical的虚拟步进机(Virtual Stepper)软件可以使用户通过模拟对光罩进行检验。
作为中国半导体产业中的主要厂商,中芯国际将采用Numerical和Virtual Stepper来降低掩膜和光罩的失败率。据中芯国际掩膜车间主管Jesse Huang介绍:"我们正在为下一代IC制订制造策略,我们正在寻找所有可用技术,目的是以最具竞争力的成本来生产高质量的晶圆片。掩膜成本不断上升,要求我们采用大幅改进的掩膜质量保证工艺。初步结果显示,Numerical的Virtual Stepper技术将能抵消部分预期中的成本增长,使我们可以及时制作高质量的掩膜,并保障我们的利润率。
(编辑 汪风)
相关文章






