台积电:盼明年完成32奈米微显影研发
来源:电子时报 作者: 时间:2008-09-09 18:42
台积电32奈米製程技术2009年将正式完成研发,台积电研发处长严涛南昨(8)日表示,希望2009年完成32奈米最核心的微显影研发阶段,这也是台积电首次公开揭露32奈米製程的时间表。半导体业者认为,才宣示全力推展开放创新平台(Open Innovation Platform;OIP)的台积电,将与特许(Chartered Semiconductor)共通平台(Common Platform;CP)于32奈米正式对垒,而特许背后主导者,正是台积电多年的技术劲敌IBM。
随着台积电40奈米即将于2009年快速大量生产,并结合内部的设计流程、外部与设计服务业者创意的合作,45/40奈米的设计桉已显得相当成熟,而65奈米研发团队也已经转而支援32奈米研发团队,全力抢进32奈米製程技术。台积电研发处长严涛南语带保守地说,台积电希望2009年完成32奈米製程技术的研发阶段;同时,他认为,22奈米亦将遵循摩尔定律每2年1个世代的速度往前,外界初估约2012年之后。
目前台积电参与的研发组织包括比利时的前端半导体技术研究中心IMEC及Sematech,联电也在2008年宣布加入Sematech。台积电除了参与这些国际型的先进半导体研究组织,主要透过内部研发走自己的路,并建置独特的创新开放技术平台OIP。综观目前半导体领域除了英特尔(Intel)以外,建置技术平台的当属以IBM为首的共通平台及台积电的OIP这2两大技术平台。
值得注意的是,台积电在45奈米正式引进high-k/metal-gate新材料製程,外界认为,台积电45/40採用新材料是为了替代工处理器(CPU) 预先准备,而high-k/metal-gate真正正式大量运用生产则将在32奈米;同样的,特许也将在32奈米开始引进high-k/metal-gate。目前特许正积极与共通平台其它伙伴成员通力合作,而台积电的OIP则与之相抗衡。
半导体业者分析,在进入32奈米製程技术世代之后,大概将形成CP与OIP对垒的局面,而目前特许则选择在22奈米以下将继续投效CP,而台积电则延续自行研发的路数,目前在22奈米同时押宝深紫外光(EUV)及电子束(e-beam)。






