日前，VLSI Research Inc.公司公布了2009年“十佳客户满意芯片设备供应商”排名，其中Keithley Instruments位于小型晶圆处理设备供应商的首位，而Varian则连续四年夺下大型晶圆处理设备供应商的第一名。自1988年起，VLSI Research每年向包括Intel、Samsung、Qualcomm、Texas Instruments、TSMC及ASE等在内的各大芯片厂商进行调研，来评估芯片设备厂商所提供设备的性能及客户服务水平。芯片供应商可参考此调研数据来定量评估其设备性能极服务水平并不断提高来满足客户的需求。为了增加公众认同度，此项调研还详细列出了各种设备类型、平台以及所在区域等信息。另外，客户忠诚度及使用者偏好在此调研中也有体现。
尽管经济大环境极度不景气，但设备供应商整体成绩依然突出，得到的满意度平均评分为7.68，而去年这一分数为7.70。“2009年客户满意度调研结果显示出，在衰退的经济形势下设备供应商依然贯彻着服务客户的承诺。”VLSI Research公司CEO 表示，“这些设备公司致力于为客户提供卓越的服务，而客户的满意度将促使其在未来经济反弹后处于竞争性地位。”
Varian公司依然稳居大型晶圆处理设备供应商满意度榜首，在13项调研类别中有10项获得最高分。设备性能与客户服务双管其下的策略使得Varian获得了8.20的高分，这也是蝉联四届榜首中的最高分数。客户给予Varian的高度评价：“一流的设备、卓越的工程质量及优异的服务支持”。
Keithley Instruments公司是连续第二次获得小型晶圆处理设备供应商满意度排名首位。客户在“设备正常运行时间”、“软件”及“技术领先”方面给予其高度评价。研究所及芯片制造商称Keithley Instruments的设备能够“保持优良性能达20年之久”。
大型及小型晶圆处理设备供应商的第二名分别是JEOL及Novellus。因其设备出众的“质量结果”及公司提供了良好的“售后支持”使得JEOL首次上榜便荣获第二名。Novellus得分由去年的7.66而跃升为8.09，尽管今年仍位居次席，但其与第一名的分数差却缩小到仅为0.11。Novellus成绩的取得应归功于“成本优势”、“服务承诺”、“设备正常运行时间”及“最优吞吐量”等方面获得了客户的高度认可。
ASML及DISCO Corp.分别居于大型及小型晶圆处理设备供应商的第三位，满意度得分分别为7.96及8.04。ASML在“技术领先”这一评估指标方面获得了最高分8.65，被称为“业界技术的领先者”。DISCO在“工艺支持”及“现场工程服务”方面领先于业者而获得高分。
