IBM、三星等四家公司将统一28nm工艺半导体生产线指标

来源:中国半导体行业协会 作者:—— 时间:2010-06-28 16:58

美国IBM、韩国三星电子、美国GLOBALFOUNDRIES以及意法半导体(STMicroelectronics)宣布,将统一四家公司的半导体生产线中28nm工艺的设计参数以及与制造相关的指标。据介绍,对于以上四家公司中任意一家的生产线上制造为前提而设计的芯片,用户无需进行重新设计便可以在其他三家公司的生产线上制造。由此,用户将可以利用位于全球三大洲的多条生产线来制造芯片。
  
  以IBM为中心的工艺技术联合开发联盟“IBM技术联盟(IBMTechnologyAlliance)”的成员企业,包括GLOBALFOUNDRIES、IBM、德国英飞凌科技(InfineonTechnologiesAG)、瑞萨电子、三星、意法半导体以及东芝等(参阅本站报道1,本站报道2)。另外,IBM、三星以及GLOBALFOUNDRIES三家公司还是旨在统一IC设计环境的“CommonPlatform”联盟的成员(参阅本站报道3)。此次,这三家公司与意法半导体将共同推进旨在构筑并统一28nm工艺半导体生产线的工作。
  
  将以28nm低功耗工艺为基础进行统一。该工艺使用体硅晶圆(BulkWafer),采用了先行栅极方式的HKMG(组合使用高介电率层间绝缘膜和金属栅极)技术。四家公司已经分别实现了28nm工艺的实用化。今后将测量晶体管的具体性能参数,设定基准(Benchmark)并进行性能参数的最优化,2010年下半年开始供货由统一的28nm低功耗工艺制造的产品。

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