浙大信电系在柔性电子器件领域获得新成果

浙大信电系在柔性电子器件领域获得新成果

       以往的生化检测，总是和瓶瓶罐罐、试剂、显微镜、载玻片等联系在一起，工序复杂，操作者经验值要求高，如何使用低廉的生物芯片或者片上实验室（LOC）实现生化检测，一直是人们努力的方向。浙江大学信电系骆季奎千人教授的研究团队一直致力于柔性压电器件的研发，创新性的提出了基于塑料等柔性衬底制备压电薄膜器件的思路，并利用压电器件实现对微流体以及细胞的操作和对生物检测，最终实现低廉的、高性能的、试纸型的LCO微芯片系统，如下图所示。该技术将彻底改变目前的生化检测技术，给检测技术领域带来一场新技术革命。但是柔性衬底制备压电薄膜器件，涉及低温制备工艺、声学器件集成、多物理场耦合以及阵列技术等，是一个复杂的多学科问题。

       去年底骆季奎千人教授和王德苗教授领导的微光所和物电所合作团队,在柔性压电器件制备方面取得了突破，成功的在塑料PI衬底上制备了高性能的SAW（声表面波器件）和FBAR（体声波谐振器）等薄膜压电器件，并随后在此基础上研发了一些系列微流控执行器和传感器，成果发表在2013年7月份的Nature的 Scientific Reports（科学报道）上，受到国际上广泛的关注，半年来获得了一系列的研究成果分别发表在影响因子6.1的JMC以及JMM、JAP、APL、EDL和TSF共6个TOP期刊上（见后面列表，合计影响因子22.3），并受邀在多个国际会议上做学术报告。该技术的成功实现，有望开拓出一种崭新的生化检测技术，具有广阔的市场前景。