北方华创购并Akrion提前为18吋晶圆布局

北方华创购并Akrion提前为18吋晶圆布局

　　大陆半导体设备大厂北方华创7日宣布批准全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司收购美国Akrion Systems;同日，北方华创微电子总裁赵晋荣与Akrion总裁Michael Ioannou在北京正式签署购并协议。双方后续将按照相关政府审批的要求履行相应的报批程式。

　　Akrion公司是位于美国宾夕法尼亚州的一家专注于半导体矽晶圆清洗设备业务的公司，产品应用于集成电路芯片制造领域、矽晶圆制造领域、微机电系统和先进封装等领域，拥有多年的清洗技术积累和广泛的市场与客户基础，累计上线机台千余台。

　　北方华创微电子作为北方华创集团旗下的半导体设备产业发展平台，清洗机产品经过数年的研发和产业化，12吋单片清洗机产品已应用于集成电路芯片制程中的预清洗、再生清洗、铜互连后清洗和铝垫清洗等。

　　此次拟收购Akrion，北方华创微电子的清洗机产品线将得以补充，形成涵盖应用于集成电路、先进封装、功率器件、微机电系统和半导体照明等半导体领域的8~12吋批式和单片清洗机产品线，提升北方华创微电子半导体清洗机服务、提升客户价值的能力，增强清洗机业务的整体市场竞争力，可迅速抓住大陆集成电路发展的市场机遇，将公司做强做大。

　　Akrion Systems已开发出用于单一晶圆及批量晶圆浸入式应用的原型样式制程设备，目前该公司也正在提供G450C联盟所需的制程解决方案。值得注意的是G450C联盟主要专注在建立18吋晶圆及设备开发环境。

　　Akrion Systems具备18吋半导体晶圆整批次处理制程技术，随着未来12吋扩充至18吋，收购Akrion Systems能够改善并拥有技术开发能力。尽管目前全球450mm联盟相关计划几近停摆，但拥有此制程技术可实际投入生产对北方华创而言也是提前布局。

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