盛美半导体首台清洗设备！入驻芯物科技12英寸中试生产线
日前，上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺设备搬入仪式在新傲工厂举行，盛美半导体设备（上海）股份有限公司首台清洗设备入驻芯物科技！ 据国家智能传感器创新中心负责人在致辞时介绍，12英寸先进传感器特色工艺研发中试平台超过80%的设备均采用国产设备，为国产装备提供验证平台，加速传感器产业链国产化，实现自主可控。
王晖先生在致辞时说：“能够获得和芯物科技一起成长的机会，我代表盛美向芯物科技表示衷心的感谢！在这个充满机会与挑战的时代，期待未来和芯物科技一起，开发一些全球领先的差异化特色工艺和设备，把中国的MEMS做到世界前列！”
盛美本次进驻芯物科技的设备为前道刷洗设备，该设备采用单片腔体对晶圆正背面依工序清洗，可进行包括晶圆背面刷洗、晶圆边缘刷洗、正背面二流体清洗等清洗工序。设备占地面积小，产能高，稳定性强，多种清洗方式灵活可选，且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工艺。
盛美主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等。公司坚持差异化竞争和创新的发展战略，通过自主研发的单片兆声波清洗技术、单片槽式组合清洗技术、电镀技术、无应力抛光技术和立式炉管技术等，向全球晶圆制造、先进封装及其他客户提供定制化的设备及工艺解决方案，有效提升客户的生产效率、提升产品良率并降低生产成本。
- •工业电池充电器的PFC级拓扑对比：升压vs图腾柱2025-06-20
- •重磅新品 | 思特威推出50MP超高动态范围手机应用CMOS图像传感器2025-06-20
- •大联大友尚集团推出基于Leadtrend产品的100W PD3.0适配器方案2025-06-19
- •东芝推出符合AEC-Q100标准的双通道车载标准数字隔离器2025-06-19
- •兆易创新推出500W单级光伏微逆方案，助力控制精度更上层楼2025-06-19
- •高温IC设计必懂基础知识：高结温带来的5大挑战2025-06-18
- •大联大诠鼎集团推出基于Synaptics产品的机器视觉AI Hub方案2025-06-17
- •安森美亮相北京听力学大会，展示智能听力技术领导力2025-06-17
- •微容科技受邀出席TrendForce高层论坛，共探AI算力时代技术革新与产业机遇2025-06-13
- •SiC 市场的下一个爆点：共源共栅（cascode）结构详解2025-06-13
