韩国本土开发首款EUV光刻胶通过三星可靠性测试
12月21日消息,韩国光刻胶供应商东进世美肯(Dongjin Semichem)表示,近日通过了三星电子的EUV光刻胶可靠性测试(合格)。这款光刻胶为双方合作研发,打破韩国EUV光刻胶完全依赖海外供应商的局面,最快有望明年上半年向产线批量供应。
据ETNews报道,业内人士表示,“东进世美肯在其位于京畿道的华城工厂开发了EUV光刻胶,并在三星电子的华城EUV生产线进行了测试,最终获得了资格。”并补充道:“两家公司的合作,使得EUV光刻胶能够以高技术水平快速开发。”
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