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晶瑞股份ArF浸没式光刻机搬入，可用于研发28纳米光刻胶

1月20日消息，晶瑞股份ArF浸没式光刻机顺利搬入实验室。公司核心管理层、光刻胶核心团队、业务伙伴代表及媒体代表参加了搬入庆祝仪式。为开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目，晶瑞股份于2020年10月顺利购得ASMLXT1900Gi型浸入式光刻机

晶瑞股份 ArF浸没式光刻机

2021-01-20 15:41