晶瑞股份ArF浸没式光刻机搬入,可用于研发28纳米光刻胶
1月20日消息,晶瑞股份ArF浸没式光刻机顺利搬入实验室。公司核心管理层、光刻胶核心团队、业务伙伴代表及媒体代表参加了搬入庆祝仪式。
为开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目,晶瑞股份于2020年10月顺利购得ASML XT 1900 Gi型浸入式光刻机一台,可用于研发最高分辨率达28nm的高端光刻胶。该设备于2020年11月19日从原厂断电停机,于2021年1月19日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。
晶瑞团队对内目标一致、上下同欲,对外多方协商、积极运作,历时短短2个多月完成了光刻机的顺利搬入,充分体现了晶瑞团队的凝聚力和高效执行力。
目前公司完成中试的KrF光刻胶已进入客户测试阶段,达到0.15μm的分辨率。本次光刻机的顺利入驻可以保障公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目关键设备的技术先进性,对加快产品研发项目进度有积极影响,有助于公司将光刻胶产品序列实现到 ArF 光刻胶的跨越,并最终实现应用于 12 英寸芯片制造的战略布局。有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力,对于提高公司可持续发展能力具有重大意义。
- •激光雷达在车路协同的“使命”是什么?2021-03-05
- •工业富联投资15亿元在河南设新厂,生产iPhone关键组件2021-03-05
- •集成电路产业正面临前所未有的发展机遇2021-03-05
- •消息显示基本半导体获得战略投资,投资方为博世2021-03-05
- •两会车企代表聚焦“缺芯”难题:汽车芯片国产化还远吗?2021-03-05
- •台湾今年将或重回全球最大半导体设备市场2021-03-05
- •上海临港发布集成电路产业5年专项规划,将培育超10家上市企业2021-03-05
- •工厂暂停生产对汽车制造商所造成的影响,可能在五个月后显现2021-03-04
- •中芯国际与阿斯麦签订购买单冲上微博热搜2021-03-04
- •中兴通讯确认成立汽车电子团队2021-03-04