荷兰巨头ASML将推出比EUV还先进的更新型光刻机
12月15日,报道称,全球最先进的光刻机厂商荷兰AMSL公司正在开发一种新版本的EUV光刻机,将成为世界上最先进的芯片制造设备。
这种更新型的光刻机被称为High NA(高数值孔径)。据称,第一台高NA机器仍在开发中,预计从2023年开始提供先行体验,以便芯片制造商可以更快地开始验证并学会如何使用。然后,客户可以在2024-2025年以此进行自己的研发工作。2025年以后,便很可能用于大批量制造。
NA光刻机可以让芯片制造商研制出更复杂的芯片。光刻机是芯片的重要生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。
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