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南方科技大学邓辉团队提出半导体晶圆原子级表面制造新方法

近日，南方科技大学机械与能源工程系助理教授邓辉研究团队在机械制造领域顶级期刊InternationalJournalofMachineToolsandManufacture发表题为“Anefficientapproachforatomic-sc

南方科技大学半导体晶圆原子级

2021-04-09 09:41