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加速前道电子束检测、计算光刻系统等产品研发东方晶源完成新一轮融资

9月7日消息，国产半导体量测设备厂商东方晶源通过官方微信公众号宣布，已完成新一轮数亿元股权融资。本轮融资由赛领资本、深创投领投，众多知名投资机构联合投资。此轮融资将有助于东方晶源加快在集成电路前道电子束检测、计算光刻系统等核心产品的研发进程，加

电子束计算光刻东方晶源

2021-09-07 13:56