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半导体行业开启“材料时代”，先进材料和清洗方案比光刻机更重要
行业专家表示，半导体行业在过去20多年时间里，光刻领域的进步，主要由特殊设备决定的；而在未来10年里，将过渡到“材料时代”。美国耗材供应商Entegris首席技术官JamesONeill表示，当前半导体行业掌控“更精细”工艺技术的角色，已经从光
行业专家表示，半导体行业在过去20多年时间里，光刻领域的进步，主要由特殊设备决定的；而在未来10年里，将过渡到“材料时代”。美国耗材供应商Entegris首席技术官JamesONeill表示，当前半导体行业掌控“更精细”工艺技术的角色，已经从光
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