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半导体导入奈米级 面临考验
计量技术与半导体技术创新。半导体技术进入奈米等级之量测需求,面临相当多的挑战。28奈米线宽量测重复性要求控制在0.2奈米内,超出目前量测仪器能力。并且产品蚀刻后之深度及形貌的实时量测,亦是目前的挑战。
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10余IC设计企业冲刺创业板
由于产业爆发性增长,目前深圳IC基地企业用地缺口已近10万平方米记者从日前举行的首届深圳集成电路创新应用展发布会上获悉,去年以来,深圳IC设计企业出现爆发性增长,去年全市IC设计产业销售已达81亿元,