吉时利与Novellus共同开发自动诊断测试

来源:华强电子世界网 作者: 时间:2003-05-14 17:30

    

(华强电子世界网讯) 吉时利仪器公司同Novellus系统公司近日宣布他们将在位于San Jose的Novellus客户集成中心开始合作。合作的主要目标是:基于吉时利先进的S600半导体直流参数测试平台来开发适于铜及低K材料的电气工艺诊断测试。这种测试将会大大节省铜工艺开发的时间并有利于提高Novellus及吉时利客户的生产率。
    
     “设计规则的变化已不能完全遵照按比例来改变性能。因此,新材料正被加速引荐到这个行业中来满足对性能及功耗提升的要求。”吉时利总经理Mark Hoersten表示:“在半导体量产的工艺开发,工艺集成及控制过程中采用新的铜及低K材料,这一举措意味着行业将面临巨大的新的挑战。我们同Novellus的合作,会因为Novellus在新材料方面的专长,而加强吉时利电特性测量方面的领先能力,更好地为全球无线通信集成电路客户服务。”
    
(编辑 草色)

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