Hynix着手投资12吋晶圆厂，明年第二季启用试产线

Hynix着手投资12吋晶圆厂，明年第二季启用试产线

     (华强电子世界网讯) 根据南韩eTimesinternet 5日的报导，Hynix Semiconductor将自今年年底开始，投入总计2兆韩元（约17.1亿美元）以上的资金，建构12吋晶圆生产线。同时，为挽回最近数年期间因技术投资不振而出现的空白，Hynix将于12吋晶圆量产线直接导入90奈米制程。
    
     南韩相关业界4日指出，Hynix决定在明年第二季启用12吋晶圆Pilot Line（试产线）。为此，该公司已开始着手与设备业者洽商设备采购事宜。同时，Hynix计划在试产线的良率达到一定水准的明年第三季，开始进行12吋晶圆量产线的投资，并在2005年初正式启用。
    
     据了解，Hynix着手建构的试产线，将具备1,000~1,500片的12吋晶圆月产能，投资规模将达1千亿韩元（约8,543万美元）以上。至于用于正式量产的12吋晶圆专用厂，预期将以三星电子的12吋晶圆厂为标竿，月产能为4万片，总计将投入2兆余韩元资金。
    
     目前Hynix预定先行在清州厂M9 Line建构12吋晶圆试产线，量产线则考虑在利川厂或海外厂新建新厂。同时，据了解，Hynix将在明年上半年启用的试产线，将采用KrF（氟化氪）曝光设备，以0.1微米制程生产，其后的12吋晶圆厂则将引进ArF（氟化氩）曝光设备，以90奈米制程生产。
    
     南韩一设备业者指出，由于Hynix已有在8吋晶圆生产线采用0.10微米制程的成功经验，并继三星电子之后引进ArF设备，预期将可顺利确保12吋晶圆生产技术。同时，又有经三星电子在12吋晶圆生产线验证过的12吋晶圆相关设备及设备投资经验可供参考，在生产线的建构上将更为容易。
    
     对此，Hynix相关人员表示，清州厂M9 Line已具备无尘室设施，该公司的确也计划在市场情况好转时进行12吋厂的投资，不过目前尚未定案。并表示，对于12吋厂的投资，极可能将会以确保的预算为基础，分阶段逐步进行。