上海先进半导体选用ASML光刻工具

上海先进半导体选用ASML光刻工具

     （华强电子世界网讯） ASML Holding NV公司近日宣布，最近接到中国晶片代工厂家上海先进半导体制造有限公司(ASMC)三套200-mm光刻系统的订单。
    
     ASMC选购了两套PAS 5500/250s系统和一套PAS 5500/300系统，作为其新200mm晶片工厂专有的光刻工具。该公司透露ASML系统将在批量生产中用于在晶片上对250纳米电路特性进行成像。
    
     ASMC公司的营运副总裁Gao Zhou Miao认为：“ASML的光刻工具将帮助我们新工厂达到生产率目标。” ASML公司还在2002年12月向中国无锡的芯片制造商华晶微电子股份有限公司销售产品。