ASYST科技公司的自动化物质处理系统被新加坡UMCi 12吋晶圆厂选用

来源:华强电子世界网 作者: 时间:2003-07-16 17:32

     (华强电子世界网讯) Asyst技术公司日前宣布该公司赢得了一个价值数百万美元的合约,将为新加坡的UMCi公司提供12吋晶圆厂自动物质处理系统(automated material handling system ,简称AMHS)。UMCi晶圆厂由台湾联华电子公司、德国英飞凌公司和新加坡经济发展局共同合资成立。这将是业界第一个同时包括由Asyst和Shinko合资公司所推出的自动物质处理系统(AMHS)和Asyst 独创的FasTrack持续流程技术的装置。
    
     「UMCi将是一座下一世代新型专业晶圆厂,提供世界级的效率和最快的晶圆处理周期,选择AMHS已经成为一个关键性和策略性的决定。」UMCi总经理Chris Cai说。「我们选择Asyst是因为Asyst-Shinko提供一个全新的、高表现的12吋晶圆AMHS的解决方案,而FasTrack则提供制造流程中将不同界面和系统接驳与整合的弹性,使得晶圆可在设备之间快速传递。我们将这种自动化设备定义为本产业进入如UMCi这样的下一世代晶圆厂一个必要的选择。」
    
     Asyst 公司主席兼执行长史提夫‧舒瓦兹说,「联电和英飞凌是12吋晶圆厂的先锋,它们选择了Asyst来提供AMHS解决方案,对于我们的科技是一个强力的背书。这项做法也充分证明了Asyst-Shinko在12吋晶圆自动化处理技术方面明显的市场领导地位,我们革新的FasTrack技术和Asyst与Asyst-Shinko所提供的整合行销和解决方案都可帮助我们达到扩大在12吋晶圆市场占有率的目标。」
    
     Asyst-Shinko是世界12吋晶圆厂自动物质处理系统(AMHS)的领导厂商,全世界14座12吋晶圆厂中有8座使用Asyst的这项设备。Asyst的FasTrack AMHS源于其独创的「持续性流程技术」(Continuous Flow Technology ,简称CFT)以及称为「FastLoad」的独特工具放置技术。在某些高产出或高流量的应用时,FasTrack让物质在工具之间传送的速度比传统利用车辆来传送的技术快了四倍。
    

(编辑 Belle)

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