家登精密选择VICTREX® PEEK® 聚合材料

家登精密选择VICTREX® PEEK® 聚合材料

     VICTREX® PEEK® 聚合材料、VICOTE™ 涂料和APTIV® 薄膜等高性能材料的制造商英国威格斯公司(Victrex plc) 今天宣布，世界领先光罩全方位解决方案供货商 - 家登精密股份有限公司 (Gudeng Precision Industrial) 已采用VICTREX PEEK聚合材料作为其最新款150mm单光罩标准机械接口传送盒，简称光罩传送盒 (single-reticle SMIF-pod；RSP) 应用的主要组件材料。透过将VICTREX PEEK聚合材料具高硬度、极少的颗粒产生量、高洁净度以及强ESD性能等特性用于与光罩的所有接触点上，此款专门设计的光罩传送盒，能有效地在生产、传送以及处理光罩过程中，减少产生任何颗粒或释气。
    
     光罩传送盒应用的关键在于处理传送盒的过程中，包括打开与关上输送箱时，需减少或避免产生任何颗粒或释气。因此，用户必须仔细选择输送箱的材料。家登精密技术经理李柏欣表示：“处理和打开光罩输送箱可能会使光罩受到污染与损坏。此外，在半导体晶圆制造工艺中使用传送盒来隔开光罩时，传送盒必须满足几项重要的要求。这些要求包括：限制接触面积，以确保光罩仅在边缘导角处接触，而且不会在传送盒内滑动；隔开颗粒，以保护较小的图形及最大限度地降低制造成本；隔离操作员，以避免光罩处理失误、划擦与ESD损害；以及控制工艺，以避免处理日益复杂的光罩时出现失误。”
    
     家登精密选择VICTREX PEEK聚合材料用于其光罩传送盒的某些关键接触点与输送点上，是因为该材料具有硬度高、颗粒产生量极少、洁净度高及ESD性能强等特性。此外，这种聚合材料还具有卓越的耐化学腐蚀性、耐磨损性、耐水解性、非常优异的电介质强度及出色的耐辐射性能，因此能够满足、甚至超越该应用对关键材料的全部要求。特别是VICTREX PEEK的粒子脱落特性较其它竞争材料更为优越，而且具有极低的可萃取物特性或挥发特性。李柏欣评论道：“我们选择VICTREX PEEK是因其具有独特的综合特性，以及优异的释气与颗粒性能。”
    
     威格斯公司亚太地区市务经理 ST Namgoong 表示：“在亚洲市场，我们为中国大陆、日本、韩国和台湾等许多晶圆制造厂提供VICTREX PEEK 聚合材料。 Victrex的高性能聚醚醚酮材料已逐渐影响着半导体领域中重要应用的成功与否。由于VICTREX PEEK具有固有高纯度、高强度、耐化学品腐蚀性、耐高温性能及优良的电气性能，所以全球范围许多半导体行业的客户都乐于采用。”
    
     目前利用这些性能的关键半导体应用包括CMP保持环、晶圆传输、晶圆存储及晶圆箱（FOUP）。