Novellus电化学沉积设备出货达300套 铜互连技术保持领先

Novellus电化学沉积设备出货达300套 铜互连技术保持领先

    　　Novellus Systems日前宣布，其第300套SABRE电化学沉积（ECD）设备发货至一家领先的韩国半导体制造厂，用于闪存及DRAM器件生产中铜的沉积。这意味着铜电化学沉积在存储器制造中应用渐增，同时也表明了Novellus在下一代存储制造设备供应商中的领先地位。
    
    　　SABRE平台发布已经10年，推动了芯片产业由铝互连向铜互连的过渡。SABRE系统技术先进，能够在低成本下获得高产量及低缺陷率。SABRE已经在全球前十大铜互连IC制造商中的9家成功安装，成为逻辑及存储芯片制造商关于电化学设备的首选。