Sematech坚持发展450mm晶圆技术 透露新进展
来源： 作者： 时间：2009-07-03 18:49
尽管IC市场低迷，但研发机构Sematech坚持关注于450mm设备技术的进展，并宣布几项新的措施。
在近日的一次演讲中，Sematech称450mm技术正在朝“实质工艺”的方向发展，450mm研发将在Sematech以及其他地方开展。
Sematech已推出了用于研发的450mm晶圆，并订购了不同的测量设备，且更新了工厂的自动化程度。
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http://www、eetimes、com/news/semi/showArticle、jhtml?articleID=218102120&pgno=1
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